一、xps数据拟合软件xpspeak单峰拟合的基本操作
xpspeak是数据拟合XPS光谱图的常用软件，支持低数据格式要求，适合进行基本操作。首先，下载安装软件，打开后界面分为两部分：操作界面和数据查看窗口。操作界面允许打开数据、设置基线、添加峰和导出数据。数据查看窗口则展示各个峰的具体参数，支持数据的保存或加载，点击“optimise all”即可进行拟合。
进行基本操作步骤如下：导入ASCII文本数据，调整基线以匹配数据。在基线调整中，通过修改high/low BE数值选择基线范围，如果基线超出曲线，调整BE值或slope值。选择background type为shirely，点击accept确定基线。接着，添加峰，根据样品信息和标准结合能谱库进行操作。注意，peak type无实际意义，无需关注。输入化学态的结合能峰位值，对于s轨道执行单峰拟合，其他选项则根据PDF轨道的双峰拟合进行限制，通过点击“constraints”进行设置。注意，峰位差需参考谱库或结合能手册，而半峰宽应保持一致性，特殊情况参照标准谱库。
在完成第一个峰的添加后，点击“optimise all”进行拟合。在优化过程中，∑x2为残差，理想情况下应越小越好。如拟合效果不佳，可调整限制条件、面积和半峰宽等参数，完成微调后点击accept，但避免再次点击“optimise all”。拟合完成后，保存xps数据格式并记录参数信息，以便后续的调整。如有需要，导出数据用于其他软件如origin进行绘图操作。确保数据格式正确，避免残留未拟合数据。
最后，打开origin软件，导入数据并生成折线图。按照之前的教程进行填充操作，完成分峰拟合和绘图。所有所需的数据文件可在结构分析表征/光电子能谱分部/单晶多晶衍射分部这三个公众号后台回复“数据”获取。
二、xps分峰拟合原则
xps分峰拟合原则如下。
1、将所拷贝数据转换成TXT格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后,将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。
2、打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import（ASCII），引入所存数据,则出现相应的XPS谱图。
3、选择本底：点 Background,因软件问题，High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley类型。
4、加峰：点Addpeak出现小框在PeakType处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s）在Position处选择希望的峰位需固定时则点fix前小方框同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。
各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系,如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为45,峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak选第二个峰，如此重复。
5、拟合：选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimise region进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可多次点Optimise region。
6、参数查看：拟合完成后，分别点另一个窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不region满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimise。
7、点Save XPS存图，下回要打开时点Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。
8、数据输出：点Data――Print with peak parameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。
点Data――Export to clipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。
点Data――Export（spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。
xps分峰的意思。
在XPS手册上，对应于每种元素，都有一个峰位与该元素化学键结构的图表，根据这个图标，把你测得的数据进行处理，例如你做的氮化硅，但是里面有少量的氧化硅，那么你的Si2p峰位就既不是标准的氮化硅，也不是标准的氧化硅，这是需要你利用origin或者xpspeakfit等软件对所得的Si2p峰进行分峰。
也就是用2个或者3个或者更多的高斯峰来拟合所得的测试曲线，根据每一个高斯峰的面积，来去定Si元素中有多少与O结合形成Si-O键，有多少与N结合形成Si-N键。
三、铅笔解析 | XPSpeak软件教程
在进行XPS测试后，您可以获得哪些数据？以下列举了三家使用率较高的XPS设备所获取的数据格式。为了讲解数据处理的简单过程，我们将使用XPSpeaks软件以今天的EXCEL数据为例。接下来，我们将分步骤详细说明数据处理的每个环节。
第一步：数据转换为txt格式。具体操作如下：首先，打开荷电校正过后的数据Excel文件，复制Binding Energy和Counts。然后，将这些数据复制到一个新的txt文件中。注意，第一行应直接开始数据，最后一行以数据结束，确保文件中无空行或其他文字，以确保数据能顺利导入XPSpeak 4.1软件。
第二步：利用XPSpeak软件导入txt文件并打开数据。按照软件操作提示，将数据导入，您将看到数据的可视化展示。
第三步：建立基线。在软件菜单中选择“Background”，在弹出窗口中，高能级和低能级的数据会自动读取。根据实际情况调整这些数字，通常情况下，选择Shirley作为背景类型。基线优化主要通过Shirley+Linear的斜率实现，您可以手动输入数值，点击“accept”按钮查看基线效果。如果对基线效果不满意，可以通过调整斜率值进行优化。
第四步：加峰。点击“Add peak”按钮，弹出窗口允许您选择峰类型（例如s、p、d、f等），无需选择时，不影响分峰。设置好峰类型后，输入期望的峰位，固定时需点选“fix”前的小方框。同时，您可以选择半峰宽（FWHM）、峰面积等参数。设置完成后，点击“accept”添加该峰。同理，可以添加第二个峰。对于p、d、f轨道的谱线，存在裂分，需要特别注意其规则：s能级无分裂峰，p、d、f等能级的次能级强度比为一定的（例如p3:p1=2:1，d5:d3=3:2，f7:f5=4:3）。在分峰过程中应遵循此规则。裂分轨道间的距离也相对固定，具体化学状态下的距离会有所不同。同一元素的裂分轨道半峰宽应尽量接近一致，一般使用默认值80。
第五步：手动修正。基于初步分峰结果，手动调节峰的面积、半峰宽等参数，以实现拟合数据与原始数据的重合。在软件中，分别点击“Region Peaks”下的编号（如0、1、2等），选择对应的峰进行参数调整。在弹出的窗口中调整峰位置、半峰宽、峰面积等参数，点击“accept”完成调整。反复调节，直到拟合数据与原始数据尽可能重合。
第六步：拟合数据保存与导出。完成拟合后，点击“XPS peak processing”中的“Save XPS”按钮，将结果保存为.xps文件。保存后，下次继续处理时只需点击“Open XPS”即可打开文件。当对拟合结果满意后，需要将数据导出为txt文件，以便在Origin中作图。在“Region 1”中，选择“Data-->Export(Spectrum)”导出为.dat文件。该文件可以直接拖动至Origin中，使用Origin打开进行后续操作。
至此，XPS原始数据的处理过程就结束了。通过遵循上述步骤，您可以有效地处理XPS数据，以便进一步分析和解读。